제품 상세 정보:
결제 및 배송 조건:
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측정 범위: | 100um (400um까지) | 평균 서비스 기간: | 1000hours (100W) 500hours (150W) |
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해결: | 0.1Nm | 힘: | AC 100-240V 50/60Hz |
스캔 속도: | 가장 빠른 12um/s | 브랜드 이름: | Rational |
하이 라이트: | optical interferometry,optical surface profiler |
AE-100M 공정한 판단 간섭계와 광학적인 지상 프로 파일러
제품 적요:
, 400um의 수직 스캐닝 고도의 3D 측정과 더불어 공정한 판단 간섭계는 현미경과 간섭계도 결합해, 각종 물자 및 마이크로 성분의 개략과 단면도 측정을 위해 적당합니다. 이 계기는 복잡한 빛에 의해 수정된 프로그램을 필요로 하지 않습니다. 그것은 코팅 영화의 유리제 렌즈, 표면, 웨이퍼, 디스크, MEMS (마이크로 전기 기계 시스템), 편평한 LCD, 고밀도 PCB, IC 포장, 물자 분석, 마이크로 지상 연구, 등에서 널리 이용됩니다.
특징:
1. nanoscale 목표를 위한 3D 측정.
2. 고속과 몸의 접촉이 없는.
3. 표면, 단면도 및 소밀의 분석.
4. 유효한 투명하거나 투명하지 않은 물자.
5. 비 전자 광속과 비 레이저 안전 측정.
6. 값이 싼 정비.
소프트웨어 (포스트 Topo)를 가공하고 분석하는 직업적인 3D 도표:
1. 사용하기 쉬운 인간 컴퓨터 공용영역.
2. 진보된 표준 영화를 위한 각자 구경측정.
3. 깊이와 고도를 분석할 때 선형 분석 지역 유효합니다.
4. 선형 분석은 ISO에 의해 정의된 소밀 또는 waviness에서 유효합니다.
5. 유효한 17의 측정 명세 및 4 추가 측정 자료.
6. 지역 분석은 통계 분석에서 유효합니다.
7. 특징을 가공하는 제 2 고속 푸리에 변환 (FFT)는 반반하게 하고, 날카롭게 하고, 디지털 방식으로 여과 파를 좋아합니다.
8. 분석 결과는 소프트웨어를 분석하는 간섭계에 의해 BMP 같이 다수 도형 문서, 또는 엑셀 체재로, ImgScan 출력했습니다.
고속과 높은 정밀도 방해 분석 소프트웨어 (ImgScan):
1. 시스템 하드웨어는 ImgScan 전처리 소프트웨어로 자동적으로 백색 빛 프린지를 분석하는 형성됩니다.
2. 수직 고도는 0.1nm까지 입니다.
3. 고속 계산 및 분석 소프트웨어.
4. 수직 스캐닝 범위의 체제는 쉽고 간단합니다.
5. 렌즈는 10X, 20X 또는 50X에서 유효합니다.
6. 측정한 목표를 더 빠르고 그리고 검출하게 편리하다 시키는 X, Y 및 Z 축선의 수 전시.
7. 수동 자동적인 광도는 백색 빛 프린지의 제일 비교를 취득하게 유효합니다.
8. 높은 정밀도 PVSI 스캐닝 측정 형태 또는 고속 VSI 스캐닝 측정 형태에서 유효한.
9. 소프트웨어를 분석하는 Patented 반투명 목표의 3D 단면도 측정을 위해 적당합니다.
10. 자동 수선 점.
11. 스캐닝 방향은 사용자에 의해 놓일 수 있습니다.
명세:
모형 | AE-100M | ||
이동하는 테이블 (mm) | 크기: 100*100의 여행: 13*13 | ||
렌즈 확대 | 10X | 20X | 50X |
관찰 /Measuring 범위 (mm) | 0.43*0.32 | 0.21*0.16 | 0.088*0.066 |
해결책 (μm) | 0.92 | 0.69 | 0.5 |
정도 | 17 | 23 | 33 |
작동 거리 | 7.4 | 4.7 | 3.4 |
감지기의 해결책 | 화소: 640*480 | ||
무게 짐 (kg) | 20kg/1kg 보다는 더 적은 | ||
Z 축선 여행 | 45mm (수동으로 미조정) | ||
Z 축선 디지털 표시 장치 | 해결책: 1μm | ||
기울어지는 조정 플랫폼 | Biax/설명서 조정 | ||
고도 측정 | |||
측정 범위 | 100 (μm) (400μm. 선택적인 윤곽) | ||
해결책 | 0.1nm | ||
반복된 정확도 | ≤ 0.1% (측정 height>10μm) | ||
≤10nm (측정 height1μm 10μm) | |||
≤ 5nm (측정 고도 <1> | |||
측정 통제 시스템 | 자동 | ||
스캐닝 속도 (μm/s) | 12 (가장 빠른 것) | ||
조명 | |||
유형 | 할로겐 램프 | ||
평균 수명 | 1000h 100W 500h (150W) | ||
광도 | 자동으로/수동으로 조정합니다 | ||
자료 처리와 컴퓨터 | |||
본부 가공 및 계산 전시 | 이중 core+ 컵 | ||
영상과 자료 처리 전시 | 17" LCD 스크린 | ||
OS | 윈도 xp (2) | ||
전력 공급과 환경 요구 | AC100 --240의 볼트 50-60Hz | ||
환경 진동 | 수준 플러스 VVC-C | ||
소프트웨어 측정하고 분석하기 | |||
측정 소프트웨어 ImgScan | 측정 소프트웨어 ImgScan: VSI/PVSI/PSI 측정 형태에서 유효한 (PSI 측정 형태는 PSI 단위로 형성되어야 합니다) | ||
소프트웨어 PosTopo 분석 | ISO 소밀/고도 분석, 배수 제 2 및 3D 고속 푸리에 변환은. 개략 같이 보기 도표를 관찰하십시오; 개략, 지역 및 양 분석; 도표 급상승; 영상 파일 체재 변환. 산출을 보고하십시오; 측정가르치에서 프로그램. |
담당자: Sunny
고능률 측정 소프트웨어와 일치하는 영상 측정계 발 스위치
제 2와 3D 측정을 위한 높은 정밀도 영상 측정 장치
디지털 방식으로 고해상 광학적인 비교 측정기, 수평한 단면도 영사기 기계